Wara li d-dawl jidħol fis-splitter tar-raġġ, id-dawl ordinarju jista 'jinqasam fit-tliet tipi li ġejjin skond il-wavelength:
Qrib UV (qrib UV): 200-380nm
Vakwu UV< vuv=""> : 10-200nm
Ultraviolet estremi, ultraviolet estremi (ExtremeUV 〈EUV〉): 1-10nm
Wara li d-dawl jidħol fis-splitter tar-raġġ, id-dawl ordinarju jista 'jinqasam fit-tliet tipi li ġejjin skond il-wavelength:
Qrib UV (qrib UV): 200-380nm
Vakwu UV< vuv=""> : 10-200nm
Ultraviolet estremi, ultraviolet estremi (ExtremeUV 〈EUV〉): 1-10nm